ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 YTP-300SAB

ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 YTP-300SAB

渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過高速移動(dòng)分子來有效地產(chǎn)生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

“型號(hào)：YTP Ver.B”是搭載陶瓷滾珠軸承型渦輪分子泵的高真空排氣裝置。

可以從大氣壓排氣到高真空。

產(chǎn)品陣容包括可通過 START/STOP 開關(guān)自動(dòng)抽真空的 SA 型和可手動(dòng)作的 M 型。

此外，旋轉(zhuǎn)泵是輔助泵的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，也可以選擇干式渦旋泵的干式版本。

長處

根據(jù)用途，有多種型號(hào)可供選擇：

使用旋轉(zhuǎn)泵作為輔助泵的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，以及使用干式渦旋泵的干式規(guī)格。

*的停電對(duì)策

前閥標(biāo)配電磁閥，以防止停電時(shí)回流和故障。

可以檢查粗加工狀態(tài)皮拉尼

真空計(jì)是標(biāo)準(zhǔn)配置，可以檢查粗抽排氣過程中的壓力。

通過

安裝可選的烘烤加熱器和脫氣處理，可以排氣到 UHV 區(qū)域。 （* 作為產(chǎn)品規(guī)格值）

用

常壓至高真空排氣系統(tǒng)

用于各種實(shí)驗(yàn)和研究設(shè)備的排氣系統(tǒng)

高純度氣體的真空置換

高真空設(shè)備的粗廢氣系統(tǒng)

分析儀排氣系統(tǒng)