ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 YTP70A-D

ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 YTP70A-D

渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過高速移動(dòng)分子來有效地產(chǎn)生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

這是一款臺(tái)式高真空排氣裝置，配備陶瓷滾珠軸承型渦輪分子泵。

考慮到桌面使用環(huán)境，降低了運(yùn)行過程中的運(yùn)行噪音和振動(dòng)。

此外，設(shè)備作采用觸摸面板，通過易于理解的顯示圖標(biāo)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單作。

長處

考慮到桌面使用環(huán)境，降低了運(yùn)行過程中的

運(yùn)行噪音和振動(dòng)。

低噪音：

運(yùn)行噪音為 43 dB 或更低，很安靜。 （空載運(yùn)行時(shí)。 ICF 法蘭型。 我們的測(cè)量。 ）

緊湊、輕便的設(shè)計(jì)

*的可作性配備

觸摸屏以提高可作性。

真空計(jì)不需要的顯示裝置，

可以捕獲真空計(jì)的信號(hào)并顯示在作屏幕上。 *多可以連接兩個(gè)真空計(jì)。

標(biāo)準(zhǔn)：

CE、cTUVus

可作性：

通過易于理解的顯示圖標(biāo)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的作

用

用于各種實(shí)驗(yàn)和研究的高真空排氣系統(tǒng)

大氣壓高真空排氣系統(tǒng)

其他高真空排氣應(yīng)用