HORIBA掘場CS-100F1光纖化學濃度監(jiān)測儀北崎國際

2025/02/12 14:16:20

這是一款光纖化學濃度監(jiān)測儀，可實現(xiàn)對半導體制造過程（如清洗和蝕刻）中使用的化學品的在線實時測量。

可以進行在線實時測量。使用單個濃度監(jiān)測儀可以同時測量多達四種類型的化學品（化學溶液或范圍），使其適合使用單槽和單晶片清潔設備進行測量。

多重監(jiān)控

使用單個濃度監(jiān)測儀*多可測量 4 種濃度（化學溶液或范圍）。

測量周期短，響應時間短

支持 300 mm 過程的濃度控制，測量周期約為 3 秒。除了多槽清洗外，我們還支持單槽和單晶片清洗設備的精細濃度管理。

2 種類型可供選擇

您可以選擇強調(diào)實時濃度跟蹤并直接集成到主管中的在線單元類型，也可以選擇強調(diào)穩(wěn)定性并可以使用監(jiān)視器輸出的反饋進行控制的單元類型。

型	CS-151F1 系列	CS-152F1 系列	CS-150F1 型
測量目標	SC-1 （氨/水中的過氧化氫）	SC-2 （鹽酸/水溶液中的過氧化氫）	SPM （硫酸/水中的過氧化氫）
測量目標	一臺設備*多可進行 4 種類型（化學溶液或范圍）的多重監(jiān)控。
測量原理	吸收光譜
濃度計算原理	溫度補償多變量分析方法
測量范圍（質(zhì)量百分比）	新罕布什爾州3： 0.00%?1.00% H2O2： 0.00%?5.00% H2O： 94.0%?100.0%	鹽酸： 0.00%?2.00% H2O2： 0.00%?2.00% H2O： 96.0%?100.0%	H2所以4： 70.0%?96.0% H2O2： 0.00%?10.00% H2O： 4.0%?30.0%
重現(xiàn) 性準確度（室溫變化± 1°C 以內(nèi)）（質(zhì)量百分比）	新罕布什爾州3：±0.15% H2O2：±0.30% H2比例：±1.5%	碳酸鹽含量：±0.15% H2O2：±0.15 % H2比例：±1.5%	H2所以4：±0.50% H2O2：±0.50% H2比例：±1.5%
樣品液體溫度	20 至 80°C（使用在線單元） 20 至 30°C（使用單元）
測量周期	約 3 秒
液晶顯示部分顯示和輸入內(nèi)容	?第 1 組件：濃度測量（%） ?第 2 組件：濃度測量（%） ?第 3 組件：濃度測量（%） ?第 1 和第 2 組件：濃度警報狀態(tài) ?錯誤代碼 ?并聯(lián)濃度警報輸出禁用 ?串行/并聯(lián)狀態(tài) ?背景校正信息
串行輸入 RS-232C	- 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換 - 測量數(shù)據(jù)傳輸請求 - 設置第 1 組分和第 2 組分濃度警報值 - 并聯(lián)濃度警報輸出狀態(tài)（啟用/禁用） ?測量目標化學品切換
并行輸入	帶光耦合器隔離的電壓輸入（12 至 30 VDC） ?并聯(lián)濃度警報輸出 ?待測化學溶液的切換 ?背景校正
并行輸出	帶光耦合器隔離的集電極開路輸出 ON時的電流：5 mA DC（無內(nèi)部保護電阻） OFF時的點火電壓：30 VDC ?4種*成分濃度警報 - 4種第二成分濃度警報 ?設備異常 ?正在進行 ?被測化學藥劑種類 ?本底校正狀態(tài)
化學溫度輸入	接線端子（端子螺釘 M3） ?鉑電阻溫度計檢測器：Pt100（Pt 傳感器必須由客戶準備。 )
模擬輸出	? 4 種類型的第 1 組分濃度警報：4 至 20 mA ? 4 種類型的第 2 組分濃度警報：4 至 20 mA * 我們可以處理測量范圍規(guī)格以外的其他業(yè)務。請在訂購時注明。
光纖	CS-100F1 系列光纖（安裝溫度 25±15°C）
樣品池	我們?yōu)樗璧幕瘜W類型提供各種樣品池（在線樣品池和樣品池單元）。
權(quán)力	AC 100V 至 230V（單相） ± 10%，50/60Hz，約 100VA
外形尺寸	205 （W） × 329 （D） × 269 （H） mm（不包括突出部分）
質(zhì)量	約 11 公斤