ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵 MS600A

2025/07/02 15:38:55

螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導(dǎo)到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動(dòng)流體。

“Model：MS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。這是一種基于傳統(tǒng)“Model：LS”的耐過程性干式真空泵，具有更高的耐腐蝕性和粉末排出性。它設(shè)計(jì)用于具有腐蝕性氣體和粉末排放的真空過程。

ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵 MS600A

長(zhǎng)處

通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊表面處理，實(shí)現(xiàn)了高耐腐蝕性。

螺旋式轉(zhuǎn)子軸具有 ULVAC 獨(dú)有的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高粉末排放。

可在從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行。

用

電子元件和半導(dǎo)體制造設(shè)備、

蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)

真空熱處理爐、

燒結(jié)爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)

鋰電池制造設(shè)備、

電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。

醫(yī)療和食品相關(guān)設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)、

冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

型		MS120A 系列	MS600A 系列	MS1200A
抽速 1	m3/小時(shí)	115	560	980
極限壓力	帕	≦0.6	≦0.1
電源電壓		三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
近似功耗 *2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
吹掃氣體量 *1	SLM 系列	0~50
水蒸氣吞吐量 1*3	公斤/小時(shí)	1.5
噪音水平 *2	分貝（A）	61	62	64
進(jìn)氣口		KF50 （水平） / VG50 （垂直）	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		肯氟烴40
重量*4	公斤	139	241	264
法規(guī)遵從性		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)配件		快速手冊(cè)、電源連接器、防水電纜夾、信號(hào)連接器、電源連接器防護(hù)罩、消音器 1 套
主機(jī)選項(xiàng)		電源電壓：200 V 級(jí)或 400 V 級(jí) 密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟彈性體（FFKM）
外部選項(xiàng)		外殼排氣口、抗震裝置、LR 兼容單元（進(jìn)氣口、信號(hào)）、吹掃氣體閥

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS600A

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