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EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比,干式真空泵具有無油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點(diǎn),因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝,確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè):用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié),避免油污染對(duì)藥品質(zhì)量的影響。
化工行業(yè):適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除,滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。
食品加工:在食品包裝和脫氣過程中,干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
科研領(lǐng)域:用于實(shí)驗(yàn)室的高真空實(shí)驗(yàn),提供無污染的真空環(huán)境。
干式真空泵通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接抽除氣體,無需液體密封或潤(rùn)滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng),將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮,*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
荏原的核心產(chǎn)品包括:
流體機(jī)械:全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案,廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域,其高效節(jié)能設(shè)計(jì)顯著降低碳排放。
環(huán)境工程:提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù),助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備:蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。