ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 VS300A-W

2025/07/07 14:23:06

“型號：VS300A-W”是旋片式（單級型）油旋轉真空泵。憑借同類產品中*小的占地面積，現(xiàn)在可以直接安裝機械增壓泵。此外，它還具有內置的油霧分離器和回油機構，可長期提供穩(wěn)定的排氣性能。此外，它的設計還考慮到了易于維護，例如更換油和元件。

長處

它采用緊湊的設計，占地面積

*小□同類產品中*小，× 874404 毫米。

機械增壓泵（MBP）可以直接安裝

ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 VS300A-W

MBP 安裝套件允許安裝 MBP，而無需安裝。

它還具有內置

油霧分離器和油回收機構。

通過結構油封和密封軸承兩個階段防止漏油到外部，

這不太可能導致漏油到外部。

配備原裝 IE3 高效多電壓電機，

單臺電機可處理寬范圍電壓。

用

光學薄膜沉積系統(tǒng)

反射鏡沉積設備

裝飾氣相沉積設備

薄膜收卷和沉積設備

在線濺射設備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設備

泄漏測試設備

太空室

規(guī)范

型				VS300A-W 系列
設計抽速		50 赫茲	m3 / 小時（L/min）	250 (4,166)
		60 赫茲		300 (5,000)
極限壓力*1	GP 已關閉		帕	≦15
	GP 開放			≦200
功耗（極限壓力下）		50 赫茲	千瓦	2.8
		60 赫茲		3.1
發(fā)動機	型			全封閉風扇式三相異步電動機
	能力		kW （極數(shù)）	7.5（4）
	電壓	50 赫茲	V	200~240 / 380~415
		60 赫茲		200~240 / 380~460
Noise 值*阿拉伯數(shù)字（極限壓力下）		50 赫茲	分貝	70
		60 赫茲		74
使用的油				ULVOIL R-72
所需油量			L	10~15
冷卻方式				水冷式
冷卻水	入口壓力		MPaG	≦0.3
	入口壓差			≧0.1
	冷卻水量		升/分鐘	≧3.0
	冷卻水溫度		°C	5~30
	冷卻水 Δt			≦25
進氣法蘭				DN 63 ISO-F
排氣口法蘭				G2 系列
質量			公斤	270
尺寸 W×D×H			毫米	404×871×585
海外安全標準				CE、 cTUVus

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 ...

ULVAC愛發(fā)科 油旋轉真空泵 VS300A-W

規(guī)范

ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 VS300A-W