ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR1800

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR1800

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR1800

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來(lái)提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見(jiàn)的泵是羅茨干式真空泵。
通過(guò)在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時(shí)間以提高吞吐量非常重要。

長(zhǎng)處
除了低溫整平（型號(hào)：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時(shí)間對(duì)于提高產(chǎn)量很重要。
由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封
結(jié)構(gòu)，它非常安全。
瞬時(shí)停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過(guò)使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
用
成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）
減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機(jī)械增壓泵）
規(guī)范
型
LR300 系列
LR600 系列
LR1200型
LR1800 系列
LR3601 系列
LR3601-T（TT） 銅皮
LR3601-R
LR3601-TR（TTR） 銅
使用的泵
DRP
LR60 系列
LR90 系列
LR90 系列
LR180型
LR421 系列
LR421-T
LR421 系列
LR421-T
MPB
PRC-003A 系列
PRC-006A 系列
PRC-012A 系列
PRC-018A 系列
PRC-036C 系列
PRC-036C（-T） 系列
PRC-036D 系列
PRC-036D（D-T） 系列
*抽速
50 赫茲
m3/h
（升/分鐘）
359
（5,980）
653
（10,900）
1,012
（16,900）
1,701
（28,350）
3,200 (53,333)
60 赫茲
m3/h
（升/分鐘）
365
（6,080）
701
（11,700）
1,051 米
（17,500）
1,784
（29,700）
3,200 (53,333)
極限壓力
0.67 帕
*入口壓力（入口壓力）
氣壓
*排氣口壓力（排氣壓力）
1Pa ~ 大氣壓
進(jìn)氣口 （CE 規(guī)格）
VG80 （KF80）
VG100
型 （KF100）
VG150
型 （KF100）
VG150型
排氣口
肯氟烴40
KF50 系列
MBP 表面處理
〇 *2
〇 *2
〇 *2
〇 *2
×
T：×
TT：×
×
TR：×
TTR：〇
質(zhì)量
公斤
275
370
420
545
660
720
660
720
電力 *3
三個(gè)階段
VAC （赫茲）
200 (50/60), 220 (60)
0 （50/60）
當(dāng)前值
穩(wěn)態(tài)
一個(gè)
7.0
（200V 時(shí)）
12.3
（200V 時(shí)）
13.7
（200V 時(shí)）
21.4
（200V 時(shí)）
31.0 （200V 時(shí)） 400V
時(shí) 20.5
35.4 （200V 時(shí)） 400V
時(shí) 20.5
*值
一個(gè)
9.6
（200V 時(shí)）
19.0
（200V 時(shí)）
24.2
（200V 時(shí)）
39.8
（200V 時(shí)）
200V 時(shí)為 58.4,400V
時(shí)為 40.5
82.0 （200V 時(shí)）400V
時(shí) 40.5
冷卻水臨時(shí)壓力
兆帕
0.1~0.3
0.2~0.5
冷卻水入口/出口壓差
兆帕
>0.1
0.1~0.3
0.2~0.5
冷卻水流量
升/分鐘
>5.0
>4.0
吹掃氣體
一次壓力
兆帕
0.1~0.5
二次壓力
兆帕
0.05~0.1
N2 吹掃
軸
SLM 系列
5
加斯伯勒
SLM 系列
0~45
無(wú) *4
0~45
無(wú) *4
0~45
ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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