ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR60B-S

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR60B-S

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

干式真空泵“型號：CR VerB”是一款已獲得國際標(biāo)準(zhǔn)（CE、cTUVus）的風(fēng)冷羅茨型干式真空泵。

排氣室不使用油，轉(zhuǎn)子和氣缸以非接觸方式運(yùn)行，可以長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

長處

排氣室是非接觸式的，不使用油，因此可以長時(shí)間穩(wěn)定排氣。

由于不需要冷卻水和氮?dú)?，因此有助于降低運(yùn)行成本。

配備直流屏蔽電機(jī)，節(jié)能、密閉、輕量化。

氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)蒸汽排放。

標(biāo)準(zhǔn)：CE、cTUVus

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

真空干燥等水蒸氣排放（必須使用氣鎮(zhèn)）

用于濺射、氣相沉積等的真空設(shè)備。

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。