EBARA荏原 干式真空泵 ESA25-D
EBARA荏原 干式真空泵 ESA25-D
干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體,無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機械結(jié)構(gòu)的運動,將氣體從進氣口吸入并壓縮,*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝,確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè):用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié),避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。
化工行業(yè):適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除,滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。
食品加工:在食品包裝和脫氣過程中,干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
科研領(lǐng)域:用于實驗室的高真空實驗,提供無污染的真空環(huán)境。
干式真空泵有多種類型,常見的有爪式干泵、螺桿式干泵和渦旋式干泵等。爪式干泵通過兩個相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體的吸入和排出,具有結(jié)構(gòu)簡單、運行平穩(wěn)的優(yōu)點。螺桿式干泵則利用兩根相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子進行氣體壓縮,適用于高流量和高真空度的場合。渦旋式干泵通過兩個相互錯開的渦旋盤來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出,具有低噪音和高效率的特點。每種類型的干式真空泵都有其的優(yōu)勢和適用場景,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的類型。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機、壓縮機、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
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