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ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵PRC-012A

發(fā)布時間:2025/04/27 18:29:59 發(fā)布廠商:深圳市京都玉崎電子有限公司 >> 進入該公司展臺

特征


  • 可以將在高溫區(qū)域進行熱等溫CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。 “型號
    :UR”可以達到比“型號:HR”更高的溫度。
  • 配備氦氣密封
    罐裝電機,具有氣密結(jié)構(gòu),極其安全。
  • 瞬間停電對策
    采取長達1000毫秒的瞬間停電對策。
  • 優(yōu)良的耐腐蝕性
    :主要部件均采用標準的特殊表面處理,具有較高的表面硬度和優(yōu)良的耐腐蝕性。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
  • 通訊功能:
    可以讀取與泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用軟件和計算機通信,可以實現(xiàn)集中監(jiān)控。

應用

  • CVD設(shè)備
  • 蝕刻設(shè)備
  • 灰化裝置
  • ALD、ALH 等。

規(guī)格

模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
所用泵 分配資源計劃 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
甲基溴化銨 - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*
抽速?
50赫茲 立方米/小時
(升/分鐘)
62(1030) 112(1860年) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60赫茲 立方米/小時
(升/分鐘)
80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
極限壓力 爸爸 5 0.67?????
*進氣壓力
(吸入壓力)
? 大氣壓*1
*排氣壓力
(排氣壓力)
爸爸 1~大氣壓
進氣口(CE規(guī)格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
排氣口 KF40
大量的 公斤 180 245 275 370 420
力量 三相 交流電壓(赫茲) 200(50/60), 220(60)
當前值 處于穩(wěn)定狀態(tài) 一個 7.1
(200V時)
11.2
(200V時)
7.8
(200V時)
12.9
(200V 時)
15.4
(200V時)
*限度 一個 7.3
(200V時)
11.8
(200V時)
8.1
(200V時)
13.8
(200V 時)
18.9
(200V 時)
冷卻水壓力 兆帕 0.1~0.3
冷卻水進/出水壓差 兆帕 >0.1
冷卻水流量 升/分鐘 >5.0
吹掃氣體 一次壓力 兆帕 0.1~0.5
二次壓力 兆帕 0.05~0.1
氮氣吹掃 空間光調(diào)制器 5
汽油 空間光調(diào)制器 0~45
現(xiàn)貨
原裝
供應
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