LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460C

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460C

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。

心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng)：

熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計，溫度分辨率達(dá)0.01℃

壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）

科里奧利式：直接質(zhì)量測量，精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)

控制系統(tǒng)：

24位Σ-Δ ADC轉(zhuǎn)換器

數(shù)字PID算法（響應(yīng)時間<100ms）

支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議

閥體系統(tǒng)：

壓電瓷閥（響應(yīng)時間<10ms）

電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）

金屬密封閥座（耐壓10MPa）

氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計，可以增強氣體的流通，降低污染物影響，使設(shè)備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。