LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5100L

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5100L

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過(guò)程控制的核心組件，MFC通過(guò)將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿(mǎn)量程（FS）。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開(kāi)度，以此進(jìn)行流量的控制。

心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng)：

熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì)，溫度分辨率達(dá)0.01℃

壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）

科里奧利式：直接質(zhì)量測(cè)量，精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)

氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動(dòng)裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計(jì)，可以增強(qiáng)氣體的流通，降低污染物影響，使設(shè)備具備高澄換性，保證更長(zhǎng)的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢(shì)。

關(guān)鍵性能指標(biāo)

參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)高性能型號(hào)

量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS

響應(yīng)時(shí)間<1s<300ms

工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa

溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃