EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵具有無油污染、維護(hù)簡單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點(diǎn)，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

干式真空泵的工作原理主要依賴于機(jī)械運(yùn)動部件，如轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿，來壓縮和排出氣體。這些運(yùn)動部件在泵腔內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)，形成多個(gè)密閉的工作腔室。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動，氣體被吸入工作腔室，隨后被壓縮并排出泵外。由于整個(gè)過程無需任何液體介質(zhì)，干式真空泵能夠提供潔凈的真空環(huán)境，避免了油污染和介質(zhì)殘留問題。

干式真空泵無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)，因此在操作過程中不會產(chǎn)生油蒸氣或油霧。這一特性不僅避免了油污染問題，還確保了工作環(huán)境的潔凈度。在半導(dǎo)體制造和醫(yī)藥生產(chǎn)等對潔凈度要求極高的行業(yè)中，干式真空泵的這一優(yōu)勢尤為重要。無油操作還意味著減少了油處理和更換的頻率，降低了維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環(huán)境。

制藥行業(yè)：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié)，避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。

化工行業(yè)：適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除，滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。

食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。

科研領(lǐng)域：用于實(shí)驗(yàn)室的高真空實(shí)驗(yàn)，提供無污染的真空環(huán)境。

之，干式真空泵以其無污染、高效和環(huán)保的特點(diǎn)，在現(xiàn)代工業(yè)中扮演著越來越重要的角色，成為高潔凈度工藝中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。